[发明专利]表面声波器件的频率调节方法、表面声波器件及电子设备无效
| 申请号： | 200510075132.1 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1707943A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 押尾政宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种在使用准纵漏表面声波的表面声波器件中能够高精度地进行频率调节的表面声波器件的频率调节方法。作为解决手段，通过蚀刻形成有IDT电极(2)的、由钽酸锂基板或铌酸锂基板或四硼酸锂基板构成的压电基板(1)的在厚度方向上与形成有IDT电极(2)的面相对的面(基板背面)(1b)，进行表面声波器件(10b)的频率调节。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 器件 频率 调节 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种表面声波器件的频率调节方法，该表面声波器件具有：钽酸锂基板或铌酸锂基板或四硼酸锂基板；和IDT电极，其形成于该钽酸锂基板或铌酸锂基板或四硼酸锂基板上，激励准纵漏表面声波，其特征在于，通过从在厚度方向上与所述IDT电极的形成面相对的面对所述钽酸锂基板或铌酸锂基板或四硼酸锂基板的厚度进行调节，从而进行频率调节。
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