[发明专利]薄膜晶体管、具有该晶体管的平板显示器及其制造方法有效
| 申请号： | 200510073821.9 | 申请日： | 2005-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1702532A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 金昌树;姜泰旭;郑仓龙;吴栽荣;朴商一;徐诚模 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;G09F9/00;H01L29/786;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有双缓冲结构的TFT、一种制造该TFT的方法、一种具有该TFT的平板显示器和制造该显示器的方法。TFT包括：第一缓冲层，包含设置于衬底上的非晶硅；和第二缓冲层，设置于第一缓冲层上。TFT还包括：半导体层，设置于第二缓冲层上；和栅电极，设置于半导体层上。双缓冲结构对从衬底扩散的杂质提供更好的阻挡，且还作为黑底以减少不需要的反射，且是氢源以钝化其它层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 具有 晶体管 平板 显示器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括：衬底；非晶硅第一缓冲层，形成于所述衬底上；第二缓冲层，形成于所述第一缓冲层上；半导体层，形成于所述第二缓冲层上；和栅电极，形成于所述半导体层上。
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