[发明专利]载物台装置无效
| 申请号： | 200510072863.0 | 申请日： | 2005-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1700438A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 富田良幸 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;B23Q1/25;B23Q1/60;G05D3/12;H01Q21/00;H04B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开的载物台装置(10)，其可消除驱动力的反作用力的影响。其具有：固定在地基(12)上的固定基座(14)；支承在固定基座(14)上的基板工作台(16)；跨在基板工作台(16)上方而被横架的可动载物台(18)；向Y方向驱动可动载物台(18)的两端部的一对线性电动机(20A、20B)；使线性电动机(20A、20B)并进驱动的控制装置(23)。在电动机支承部(34A、34B)的支柱部(34A2、34B2)的下端和固定基座(14)之间，设置有滑动机构(35A、35B)。线性电动机(20A、20B)向Y方向驱动可动载物台(18)时，电动机支承部(34A、34B)向与可动载物台(18)的移动方向相反的方向移动。由此，能够不受来自线性电动机(20A、20B)的反作用力影响，高精度地进行可动载物台(18)的驱动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 装置 | ||
【主权项】：
1.一种载物台装置，其特征在于，具有：固定在地基上的固定基座；相对该固定基座可移动地被设置的载物台；对上述载物台施加驱动力的驱动机构；支承上述驱动机构的支承部；控制上述驱动机构以使上述载物台以预定速度移动的控制机构，在上述支承部的下端和上述固定基座或上述地基之间设置了反作用力吸收结构，用于吸收由上述驱动机构的驱动力使上述载物台移动时的反作用力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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