[发明专利]有源矩阵基板及其制造方法有效
| 申请号： | 200510071244.X | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1696805A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 元岛秀人;谷正俊;园畠将一 | 申请（专利权）人： | NEC液晶技术株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;G02F1/133;H01L29/786;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;陆锦华 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 引出布线分别与开关元件的信号线及其扫描线相连，并引出到透明绝缘基板的一侧部分上。分别与引出布线结合的导电终端形成在其前端部分中，并且在导电终端上形成与导电终端连接的多个接触孔，从而通过使用导电树脂将驱动器IC贴装于其上。每条引出布线在接触孔附近都设置有半导体膜图案，用于阻挡导电树脂中的湿气通过层间绝缘膜到达引出布线。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有源矩阵基板，包括：透明绝缘基板；形成在透明绝缘基板上的开关元件；该开关元件的扫描线引出布线和信号线引出布线，每条引出布线都延伸到透明绝缘基板的相同侧的部分上，并在其前端具有终端部分；在该透明绝缘基板上形成的第一层间绝缘膜，以覆盖该扫描线引出布线和信号线引出布线；穿过该第一层间绝缘膜并形成在该扫描线引出布线和信号线引出布线的每个终端部分上的接触孔，该接触孔用于连接用于驱动该开关元件的扫描线和信号线的驱动器元件；以及形成在该第一层间绝缘膜上的半导体膜图案，该半导体膜图案覆盖其终端部分附近的扫描线引出布线和信号线引出布线。
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