[发明专利]摇动喷淋型传送式基板处理装置

摘要

本发明涉及摇动喷淋型传送式基板处理装置，其目的在于高效率地除去随着对基板表面的处理液的供给而在其表面上产生的气泡，同时消除在大型基板中成为问题的宽度方向上的处理速率的不均等。为了实现这些目的，使对以水平状态沿水平方向传送的基板(100)的整个表面供给处理液的多个喷射喷嘴(34a)朝向基板(100)的行进方向向两侧同步摇动。交替强制地形成从基板(100)的一侧部向另一侧部的液体流动和从另一侧部向一侧部的液体流动。

主权项

1.一种摇动喷淋型传送式基板处理装置，将基板以水平状态沿水平方向传送的同时向该基板的表面供给处理液，其特征在于，该装置包括：喷淋单元，该喷淋单元从基板的行进方向及与该行进方向成直角的方向排列的多个喷射喷嘴向基板的整个表面供给处理液；缝隙喷嘴，所述缝隙喷嘴设置在所述喷淋单元的上游侧，在基板的行进方向一部分上遍及整个宽度直线状地供给处理液；以及，在该喷淋单元中，设置使各喷射喷嘴面朝向基板行进方向的两侧同步摇动的摇动机构。