[发明专利]氟代烃浓度的测定方法、测定装置和全氟化碳的制造方法无效
| 申请号： | 200510070123.3 | 申请日： | 2001-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1683923A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 大野博基;大井敏夫;加贺一有;馆龙一;松田五明 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N21/25;C07C19/08;C07C17/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈剑华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一种制造卤素化合物或全氟化碳化合物的设备中，为了将卤素气体和/或氟代烃气体浓度控制在设定在范围内，提供卤素气体和/或氟代烃气体的管理上需要的迅速、容易且精度高的测定方法，加之结构小型化、另外零件交换迅速、容易的测定装置和使用它的制造卤素化合物或全氟化碳化合物的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 氟代烃 浓度 测定 方法 装置 氟化 制造 | ||
【主权项】：
1、一种氟代烃浓度的测定方法，其特征在于使用红外分光法测定在混合气体中所含的至少一种氟代烃的浓度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工株式会社，未经昭和电工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510070123.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
