[发明专利]半导体试验装置的校准方法

摘要

本发明的目的在于提供一种能降低成本、简化作业内容、缩短作业时间的半导体试验装置的校准方法。在多个驱动器的每一个与多个比较器的每一个以1对1的方式相对应的状态下，在对于彼此以1对1的方式相对应的时钟信号和选通信号来说以某一方为基准调整了另一方的相位后，取得时钟信号相互间的相对的相位差或选通信号相互间的相对的相位差，根据该相对的相位差来调整多个时钟信号和多个选通信号的相位。

主权项

1.一种半导体试验装置的校准方法，在该方法中进行具备驱动器和比较器的半导体试验装置的时序校准，其中，上述驱动器进行与时钟信号同步的信号的生成工作，上述比较器进行与选通信号同步的比较工作，其特征在于，具有下述步骤：第1步骤，在进行了m个分组以便包含2个以上的多个驱动器和多个比较器的至少一方的状态下，在每个组中使从多个上述驱动器输出并输入到上述比较器中的信号的变化的时序与由多个上述比较器进行比较工作的时序相一致来调整上述时钟信号的相位和上述选通信号的相位；第2步骤，对于不同的上述组来说，取得与上述驱动器对应的上述时钟信号相互间的相对的相位差或与上述比较器对应的上述选通信号相互间的相对的相位差；以及第3步骤，根据上述相对的相位差，调整与多个上述组的每一组中包含的上述驱动器对应的上述时钟信号的相位和与上述比较器对应的上述选通信号的相位。