[发明专利]制作电子功能材料的需求图案的方法无效
| 申请号： | 200510068750.3 | 申请日： | 2005-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1693993A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 李顺普;克里斯托夫·纽瑟姆;托马斯·库格勒;大卫·拉塞尔 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在基片(1)上形成电子功能材料(3)需求图案的方法，其包括的步骤如下：在基片上生成形成图案材料(2)的第一层，同时暴露基片剩余区域以限定所述需求图案；在所述图案材料和暴露的基片上印刷包括在液体分散剂中的电子功能材料的颗粒的悬浮液，其中所述图案材料不渗透该悬浮液；从悬浮液中去除至少一些液体分散剂，以便能够使颗粒固结；以及将第一溶剂施加于所述固结颗粒上，所述第一溶剂可以使所述图案材料(2)溶解，并且所述固结颗粒可渗透所述第一溶剂，这样，所述图案材料与覆盖的电子功能材料(3)一同从基片上被去除。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 电子 功能 材料 需求 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在基片上形成电子功能材料需求图案的方法，包括步骤：在基片上生成图案材料的第一层，同时使暴露的基片区域去限定所述需求图案；在所述图案材料和暴露的基片上印刷包括在液体分散剂中的电子功能材料的颗粒的悬浮液，其中所述图案材料不渗透该悬浮液；从悬浮液中去除至少一些液体分散剂，以便能够使所述颗粒固结；以及将第一溶剂施加于所述固结颗粒上，所述第一溶剂可以使所述图案材料溶解，并且所述固结颗粒可渗透所述第一溶剂，这样，所述图案材料与覆盖的电子功能材料一同从基片上被去除。
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