[发明专利]用以计算空间光调制器的虚拟影像的系统与方法有效
| 申请号： | 200510068423.8 | 申请日： | 2005-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1700097A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 阿扎特·M·拉蒂博弗 | 申请（专利权）人： | ASML控股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种计算一空间光调制器阵列的虚拟影像的方法，该方法包含：计算一像素干涉矩阵，该像素干涉矩阵代表该空间光调制器阵列中像素之间的成对干涉；计算对应至该像素的调制状态的有效灰阶值；以及根据该像素干涉矩阵与该有效灰阶值计算该虚拟影像。该有效灰阶值仅依据该像素的调制状态而定。该像素干涉矩阵仅依据位置变量而定。该位置变量为在影像平面中的位置以及在电磁辐射源平面中的位置。该像素干涉矩阵可以是函数矩阵。该像素干涉矩阵可以是四维矩阵。该有效灰阶值使用sinc函数逼近，或是使用多项式函数逼近。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 计算 空间 调制器 虚拟 影像 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种计算一空间光调制器阵列的虚拟影像的方法，该方法包含：计算一像素干涉矩阵，该像素干涉矩阵代表该空间光调制器阵列中像素之间的成对干涉；计算对应至该像素的调制状态的有效灰阶值；以及根据该像素干涉矩阵与该有效灰阶值计算该虚拟影像。
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