[发明专利]固体摄像装置

摘要

固体摄像元件，包含第1导电型的半导体衬底。晶体管设在衬底表面上。晶体管包含设在衬底上方的第1栅极电极、第1杂质区、第2杂质区。第1杂质区及第2杂质区形成于衬底表面内，夹持第1栅极电极的下方区域。第2导电型的第3杂质区形成于衬底表面，在第2杂质区的与第1栅极电极相反一侧和第2杂质区分开。第4杂质区形成于第2杂质区的下方，和第3杂质区相连。第2栅极电极设在衬底上方。第2导电型的第5杂质区，形成于衬底表面。第3杂质区及第5杂质区夹持第2栅极电极的下方区域。

主权项

1.一种固体摄像装置，其特征在于，具备：第1导电型的半导体衬底(20)；设在上述衬底表面上的晶体管，其中上述晶体管包含设在上述衬底上方的第1栅极电极(34)、第1杂质区(31)和第2杂质区(35)，上述第1杂质区及上述第2杂质区形成于上述衬底的表面内且夹持上述第1栅极电极的下方的区域；形成于上述衬底表面上的第2导电型的第3杂质区(41)，上述第3杂质区在与上述第1栅极电极相反一侧和上述第2杂质区分开；形成于上述第2杂质区下方的第4杂质区(42)，上述第4杂质区与上述第3杂质区连接；设在上述衬底上方的第2栅极电极(44)；形成于上述衬底表面上的第2导电型的第5杂质区(45)，上述第3杂质区及上述第5杂质区夹持上述第2栅极电极的下方的区域。