[发明专利]用于电蚀加工的冲洗和过滤系统无效
| 申请号： | 200510062711.2 | 申请日： | 2005-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1676258A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 魏斌;M·S·兰菲尔;袁人炜;季学金 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | B23H11/00 | 分类号： | B23H11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于电蚀机的冲洗和过滤系统(100)包括被构造以保持工件(104)在其中的工作罐(102)，用于粗过滤从工作罐(102)中排出的含有残余物的加工液(110)的第一过滤阶段(116)，和用于精过滤从第一过滤阶段(116)排出的经过粗过滤的加工液(110)的第二过滤阶段(124)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 冲洗 过滤 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于电蚀机的冲洗和过滤系统(100)，包括：被构造以保持工件(104)在其中的工作罐(102)；用于粗过滤从所述工作罐(102)中排出的含有残余物的加工液(110)的第一过滤阶段(116)；和用于精过滤从所述第一过滤阶段(116)排出的经过粗过滤的加工液(110)的第二过滤阶段(124)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通用电气公司，未经通用电气公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510062711.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：作为漂白活化剂的酯类化合物的制备方法
- 下一篇：能降低行蠕动的液晶显示装置
