[发明专利]压电元件、喷墨头、角速度传感器及喷墨式记录装置

摘要

本发明公开了一种压电元件、喷墨头、角速度传感器以及喷墨式记录装置。在压电元件中，在第1电极层(14)上设有立方晶系或者正方晶系的取向控制层(15)，该取向控制层(15)上形成有由添加了大于等于1mol％且小于等于50mol％的、以化学通式Pb(A_aB_b)O₃表示的含铅复合钙钛矿型化合物的锆钛酸铅制成，且具有三角晶系或正方晶系晶体结构的压电体层(16)。在形成该压电体层(16)之际，使该压电体层(16)晶粒成为沿着该压电体层的厚度方向延伸且平均截面直径与长度之比大于等于1/50且小于等于1/14的柱状粒子。

主权项

1.一种压电元件，具备：第1电极层、设置在该第1电极层上的取向控制层、设置在该取向控制层上的压电体层、以及设置在该压电体层上的第2电极层，其特征在于：所述取向控制层由立方晶系或正方晶系钙钛矿型氧化物制成；所述压电体层，由添加了大于等于1mol％且小于等于50mol％的、以化学通式Pb(AaBb)O3表示的含铅复合钙钛矿型化合物的锆钛酸铅制成，具有三角晶系或正方晶系晶体结构；所述压电体层的晶粒，是沿着该压电体层的厚度方向延伸且平均截面直径与长度之比大于等于1/50且小于等于1/14的柱状粒子。