[发明专利]抛光组合物及抛光方法无效
| 申请号： | 200510059252.2 | 申请日： | 2005-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1670117A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 玉井一诚;大和泰之 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种抛光组合物，所述抛光组合物含有氧化铝、螯合剂、氧化剂及水。螯合剂较好是选自α－氨基酸、氨及铵盐的至少一种。抛光组合物适合用于对包括具有配线槽的树脂部、和设置于树脂部上、以至少填埋配线槽的抛光对象物进行抛光的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光组合物，所述抛光组合物用于对包括具有配线槽的树脂部、和设置于树脂部上、至少填埋配线槽的抛光对象物进行抛光，其特征在于，所述抛光组合物含有氧化铝、螯合剂、氧化剂及水。
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