[发明专利]冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及方法无效
| 申请号: | 200510054886.9 | 申请日: | 2005-03-22 |
| 公开(公告)号: | CN1673411A | 公开(公告)日: | 2005-09-28 |
| 发明(设计)人: | 吉村昌真 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C30B25/10;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 许海兰 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 在构成使用了电子线放射元件等的图像显示装置的基板的加热以及冷却过程中使用的冷却装置中,具备与基板相对而且吸收基板的放射热的冷却板,通过在冷却板中设置与基板的低放射率区域相对的图案的高放射率区域,减轻基板冷却时的基板温度分布的变化,防止基板畸变或者破损。 | ||
| 搜索关键词: | 冷却 装置 使用 图像 显示 面板 制造 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种冷却装置,该冷却装置使冷却板与基板相对,吸收来自该基板的放射热进行冷却,其特征在于:在上述冷却板中以减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时在基板中产生的温度分布变化的图案,设置放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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