[发明专利]载置台装置及曝光装置无效
| 申请号： | 200510054885.4 | 申请日： | 2005-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1673872A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 江本圭司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H02K41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的载置台装置，使用平面电动机驱动搭载了对象物的动子，包含(i)具有线圈组的定子单元和(ii)在上述定子单元上移动的动子；上述定子单元(a)具有对上述对象物进行第一处理的第一区域和(b)对上述对象物进行第二处理的第二区域；其中：上述定子单元内的线圈组在第一和第二区域独立地被温度调节。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 装置 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种载置台装置，使用平面电动机驱动搭载了对象物的动子，其特征在于：包含具有线圈组的定子单元和在上述定子单元上移动的动子，上述定子单元具有：(a)用于对上述对象物进行第一处理的第一区域和(b)用于对上述对象物进行第二处理的第二区域，其中，上述定子单元内的线圈组在第一和第二区域独立地被温度调节。
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