[发明专利]摆动工作台装置无效
| 申请号： | 200510051679.8 | 申请日： | 2005-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1661414A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | I·克勒姆;J·梅斯纳;M·克雷泽尔;M·雅各布;M·罗斯－梅泽默;J·鲁尔夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡斯耶拿有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;胡强 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于使物体微定位的摆动工作台装置，优选用于使光学物体、如镜元件在投影光学机构的布置中确定地产生振动，该装置包括一个承载所述物体(7，12)的摆动工作台(2，9，15)，该工作台与至少一个驱动元件(5，6，18)处于连接，并且所述装置包括一个摆动工作台外壳(1，8，14)，该外壳与摆动工作台(2，9，15)通过一个弹性连接体(3，10，11，16，17)耦联。按照本发明所述摆动工作台(2，9，15)、摆动工作台外壳(1，8，14)以及弹性连接体(3，10，11，16，17)由一个整体的单元组成。 | ||
| 搜索关键词： | 摆动 工作台 装置 | ||
【主权项】：
1.用于物体微定位的摆动工作台装置，该工作台优选用于使光学物体、如镜元件在投影光学机构的布置中确定地产生振动，该装置包括一个承载所述物体(7，12)的摆动工作台(2，9，15)，该工作台与至少一个驱动元件(5，6，18)处于连接，并且所述装置包括一个摆动工作台外壳(1，8，14)，该外壳与摆动工作台(2，9，15)通过一个弹性连接体(3，10，11，16，17)耦联，其特征在于，所述摆动工作台(2，9，15)、摆动工作台外壳(1，8，14)以及弹性连接体(3，10，11，16，17)由一个整体的单元组成。
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