[发明专利]用于定位物体的执行机构的分离有效
| 申请号： | 200510051256.6 | 申请日： | 2005-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1665015A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 多森·盖瑞·彼得;吴敏聪;邓谚羲 | 申请（专利权）人： | 先进自动器材有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 香港新界葵涌工业*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于定位物体的装置和方法，其和第一支撑结构、第二支撑结构相连，第一执行机构沿着第一轴线驱动第一支撑结构；第二执行机构沿着第二轴线驱动第一支撑结构，该第二轴线正交于第一轴线；包含有转子和定子的第三执行机构，用于驱动第二支撑结构，该第二支撑结构相对于该第一支撑结构沿着第三轴线被引导移动，该第三轴线正交于第一轴线和第二轴线；该转子和第二支撑结构相连，并随着定子移动，以及该定子相对静止并和该第二支撑结构相分离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定位 物体 执行机构 分离 | ||
【主权项】：
1、一种用于定位物体的装置，其和第一支撑结构、第二支撑结构相连，该装置包含有：第一执行机构，用于沿着第一轴线驱动第一支撑结构；第二执行机构，用于沿着第二轴线驱动第一支撑结构，该第二轴线正交于第一轴线；以及包含有转子和定子的第三执行机构，用于驱动第二支撑结构，该第二支撑结构相对于该第一支撑结构沿着第三轴线被引导移动，该第三轴线正交于第一轴线和第二轴线；其中，该转子和第二支撑结构相连，并随着定子移动，以及该定子相对静止并和该第二支撑结构相分离。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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