[发明专利]一种用于太阳电池的硅箔的制造方法及专用设备

摘要

本发明涉及一种用于太阳电池的硅箔的制造方法及专用设备。该方法包括在密闭壳体内对硅加热熔化和熔体流铸凝固成型，主要步骤为将硅原料装入坩埚、调整坩埚位置使其下部石英嘴靠近铸模，充保护气体、启动铸模定向运动，通过液体介质对铸模控温、对硅原料加热、熔化使其流到铸模上形成熔潭，凝固成硅箔经传输装置输出。用于上述方法的专用设备为在与通气装置相连的密闭壳体内设置坩埚和高频感应线圈，坩埚下部的石英嘴安装在定位夹紧装置上，石英嘴下方设置铸模，铸模表面为瓦楞状或平面，铸模连接调速装置，铸模一侧设置硅箔传输装置，铸模通过调温控装置控温。本方法制造的硅箔厚度小，硅原料省，生产效率高和成本低，本设备具有结构合理的优点。

主权项

1、一种用于太阳电池的硅箔的制造方法，包括在密闭壳体(1)内对硅加热熔化和对硅熔体流铸凝固成型，其特征在于该方法的步骤为：A、将用于制作太阳电池的硅原料装入坩埚(2)内，硅原料包括纯硅和少许杂质磷或硼。B、调整坩埚(2)在密闭壳体(1)中的位置，对坩埚(2)定位装夹，使坩埚(2)下部的石英嘴(2b)的唇面(2k)到铸模表面(3a)的距离为0.1-0.3mm，并用定位夹紧装置(14)对石英嘴(2b)夹紧。C、对密闭壳体(1)抽真空后，向其内包括向坩埚(2)内充入保护气体；对密闭壳体和坩埚内充入保护气体；D、启动铸模定向匀速运动，并通过0-200℃的液体介质对铸模表面(3a)进行调温控制，使铸模表面(3a)保持一个低于硅的凝固温度的恒定温度值；E、启动高频感应加热器，通过高频感应线圈(5)对坩埚(2)内硅原料加熔化，使坩埚(2)内硅熔体(15)温度保持一个超过硅熔点的恒定的温度值，该恒定温度值为1425-1520度；F、用保护气体对坩埚(2)内硅熔体(15)施加一个恒定的压强，所述的恒定的压强范围为20-200毫米汞柱，该压强使硅熔体(15)从石英嘴(2b)的出口(2d)流到铸模(3)上，形成熔潭(15a)，凝固成硅箔(15b)，硅箔(15b)经硅箔传输装置(6)输出。