[发明专利]一种涂层用靶极及其外套的铸造工艺无效
| 申请号： | 200510046901.5 | 申请日： | 2005-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1900348A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 魏明霞;史凤岭;曹建 | 申请（专利权）人： | 沈阳黎明航空发动机（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C22C21/02;C22C1/02 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110043辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种涂层用靶极：所述靶极主要由外套(1)、内套(2)组成，内套(2)安装在外套(1)内部，二者之间为固定连接；其中：外套(1)选用Al基材料，按照重量百分比，除Al之外的其它成分质量百分含量为：Si：4.5～5.5％；Y：1.1～1.8％。一种上所述涂层用靶极的外套的铸造工艺：所述外套(1)的制造方法为铸造；所述涂层用靶极材料的外套选用如下的原材料进行制造：工业纯铝、工业硅、Al－Y中间合金；所述靶极外套(1)的铸造过程为：首先熔炼原材料，然后在金属模具(4)中浇注成型。本发明所述靶极在涂层应用中效果明显优于现有技术，所述外套的铸造工艺针对靶极而定，铸件质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂层 用靶极 及其 外套 铸造 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种涂层用靶极，其特征在于：所述靶极主要由外套(1)、内套(2)组成，内套(2)安装在外套(1)内部，二者之间为固定连接；其中：外套(1)选用Al基材料，按照重量百分比，除Al之外的其它成分质量百分含量为：Si：4.5～5.5％；Y：1.1～1.8％。
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