[发明专利]电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置

摘要

本发明涉及一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置。其特征是，该装置由电源、串联耦合电容或同时串联耦合电容、电阻、电感的电极、电源和电极之间稳定和控制放电的匹配网络、电极间工作介质(气体、液体或气液两相介质)组成。在电源作用下，电极间工作介质中发生放电，在匹配网络和耦合电容或耦合电容与串联电阻、电感的调节下，产生大气压辉光放电等离子体。本发明的效果和益处是，可以用于等离子体物理及化学领域，例如材料处理及制备、有害气体净化及臭氧发生器、消毒、放电光源、飞行器隐身等技术领域。

主权项

1.一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置，其特征是，电极(5)、电极(6)同电源之间分别串联耦合电容(3)或同时串联耦合电容(3)、电阻、电感；电源(1)和电极(5)、电极(6)之间设有匹配网络(2)；高压电源(1)采用直流电源、工频交流电源、高频交流电源、脉冲电源、直流叠加交流或直流叠加脉冲电源；电极(5)、电极(6)采用金属电极或电极间有绝缘介质或催化剂。