[发明专利]一种碳化硅微粉的生产工艺

摘要

本发明是一种碳化硅微粉的生产工艺，其特征在于，其步骤依次为中碎、筛分、整形、酸洗、粉碎、分级和二次分级，从而制得800－1000目的成品A，1200－1500目的成品B，以及1500以上的副产品。本发明工艺将机械粉碎工艺与气流分级工艺二者有机结合，可对碳化硅微粉进行有效的分级，产品分级细，种类多，产品质量容易控制，产品可以根据需要用于各种用途；成品中颗粒形状为片状和针状的产品可达到60％以上，其锐角锋利，特别适用于硅晶圆的切割。

主权项

1、一种碳化硅微粉的生产工艺，其特征在于，其步骤如下：(1)取碳化硅原料，经破碎机中碎，并筛分至不大于5mm的碳化硅颗粒，再用整形机对其进行整形至不大于2mm的碳化硅颗粒，且其中椭圆形颗粒占80％以上，再对其进行酸洗除杂，干燥；(2)将上述干燥后的碳化硅颗粒用磨粉机粉碎成d50＝9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎时，磨粉机主机电流设定为65-75A，风机流量设定为40-50m3/min，分析机转速为400--600转/分；(3)然后用涡流式气流分级机对碳化硅粉进行分级，分级时，涡流式气流分级机的风机流量为25-43m3/min，分级轮转速为2600--3300转/分，从分级口分出粒度ds94＝6.5-5.5μm的成品A，旋风口分出ds94≤5.5μm的半成品；(4)将涡流式气流分级机旋风口分出的半成品用叶轮式气流分级机再进行二次分级，分级时，叶轮式气流分级机的风机流量为25-10m3/min，分级轮转速为1300--1700转/分，从分级口分出粒度为ds94＝4.5-3.0μm的成品B，旋风口则分出副产品。