[发明专利]一种高性能(1－x)BaTiO3－xNaNbO3微波介电薄膜及其制备

摘要

一种高性能微波介电薄膜，结构式为(1－x)BaTiO₃－xNaNbO₃，x的取值范围为0.025≤x≤0.075。高性能微波介电薄膜的制备，根据上述微波介电薄膜结构式(1－x)BaTiO₃－xNaNbO₃，称量BaCO₃、TiO₂、Na₂CO₃和Nb₂O₅粉末，经球磨处理并干燥处理后，用1－35MPa的压力把上述粉末压成薄片；把待烧结薄片相应的粉末放入Al₂O₃坩埚，并使薄片和粉未处于密封状态，将坩埚置入加热炉中，升温800－1000℃时保温10－60分钟，然后再升温到烧结温度，在1300－1650℃烧结100－300分钟左右，得到相应的陶瓷；把相应的陶瓷片放到脉冲沉积系统的生长室内，用KrF准分子脉冲激光器烧蚀陶瓷，并使溅出物沉积到衬底上，制备薄膜厚度200－600nm的薄膜。本发明可以制备出单相的，介电常数可调性达到78％，介电常数的温度稳定性为1.7×10^－3/℃。

主权项

1、一种高性能微波介电薄膜，其特征是结构式为(1-x)BaTiO3-xNaNbO3，x的取值范围为0.025≤x≤0.075。