[发明专利]可用作光敏产酸剂的新型硫鎓盐化合物及其制备方法

摘要

本发明涉及通式I化合物及其制备方法。其中：R₁，R₂独立是C_1－12烷基，或通过烷撑基结构形成环状结构，上述烷基或环烷基可以含有或不含有氧络结构；Z₁为通式II的取代基结构；Z₂，Z₃独立是氢，C_1－6烷基，C_1－6烷氧基，C_3－7环烷基，卤素，C_1－6卤烷基或等于Z₁；其中Z₂，Z₃不同时等于氢。R₃，R₄，R₅独立是氢，直链、支链、单环、多环、交联环状特征的烷基，C_1－10不饱和烯烃基或炔烃基；Y－代表配对阴离子。通式I结构化合物适用于光刻胶组合物中用作光敏产酸剂。

主权项

1.一种硫鎓盐衍生物，其特征在于它是通式为I的化合物：其中：R₁，R₂独立是C_1-12烷基，或通过烷撑基结构成环状结构，上述烷基或环烷基可以含有或不含有氧络结构；Z₁为通式II的取代基结构；Z₂，Z₃独立是氢，C_1-6烷基，C_1-6烷氧基，C_3-7环烷基，卤素，C_1-6卤烷基或等于Z₁；其中Z₂，Z₃不同时等于氢。R₃，R₄，R₅独立是氢，直链、支链、单环、多环、交联环状特征的烷基，C_1-10不饱和烯烃基或炔烃基；Y^-代表配对阴离子。