[发明专利]基于图像处理的晶片检测系统

摘要

本发明是一种基于图像处理的晶片检测系统，包括基座、晶元盘和图像采集卡，基座上安装有X方向步进电机和Y方向步进电机，X方向步进电机和Y方向步进电机分别通过X方向传动丝杆和Y方向传动丝杆与晶元盘相连接，晶元盘上方安装有镜头和光源，镜头通过支架与基座相连接，还通过CCD和数据线与PC机内的图像采集卡相连接，X方向步进电机和Y方向步进电机通过驱动板卡外接PC机。本发明基于Linux，采用SIMD指令集和多线程并行/并发处理，极大提高了处理速度。本发明设计了具有较好抗干扰能力的光源系统，实现图像的稳定采集，可以高速、高精度对晶片进行定位和质量检测。

主权项

1、一种基于图像处理的晶片检测系统，其特征是，包括基座、晶元盘和图像采集卡，所述基座上安装有X方向步进电机和Y方向步进电机，所述X方向步进电机和Y方向步进电机分别通过X方向传动丝杆和Y方向传动丝杆与晶元盘相连接，所述晶元盘上方安装有镜头和光源，所述镜头通过支架与基座相连接，还通过CCD和数据线与PC机内的图像采集卡相连接，所述X方向步进电机和Y方向步进电机通过驱动板卡外接PC机。