[发明专利]溅射离子泵有效
| 申请号： | 200510035928.4 | 申请日： | 2005-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1891851A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 潜力;唐洁;刘亮;齐京;陈丕瑾;胡昭复;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种溅射离子泵，其包括：一真空容器，该真空容器壁上至少设置有一电子注入孔；两阳极电极杆设置于真空容器内，该两阳极电极杆相对于该真空容器的中心轴轴向对称；以及至少一冷阴极电子发射装置与电子注入孔对应，设置于真空容器筒壁上的电子注入孔外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 离子 | ||
【主权项】：
1.一种溅射离子泵，其包括：一真空容器，该真空容器进一步包括至少一电子注入孔设置于所述真空容器的壁上；两平行阳极电极杆设置于所述真空容器内，该两阳极电极杆相对于该真空容器的中心轴轴向对称；其特征在于，进一步包括至少一与电子注入孔对应的冷阴极电子发射装置，该冷阴极电子发射装置设置于真空容器筒壁上的电子注入孔外侧。
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