[发明专利]光学镀膜装置无效
| 申请号： | 200510034248.0 | 申请日： | 2005-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN1847445A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张庆州 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学镀膜装置，包括一镀膜室、一承载架、一旋转马达、一蒸镀源及一挡流板。该承载架设在该镀膜室内，其用于安装多个待镀组件。该旋转马达经一连轴器带动该承载架旋转。该蒸镀源设在该镀膜室底部，与该承载架相对。该挡流板经一支撑柱设在镀膜源与承载架之间，其包括有不同形状的多个遮板，且每一遮板皆可旋转至一特定位置定位。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学镀膜装置，包括一镀膜室、一承载架、一旋转马达、一镀膜源及一挡流板，该承载架其设在该镀膜室内，用于安装多个待镀组件，该旋转马达经一连轴器带动该承载架旋转，该镀膜源设在该镀膜室的底部并与承载架相对，其特征在于：该挡流板经一支撑柱设在镀膜源与承载架之间，该挡流板包括有不同形状的多个遮板，且每一遮板皆可旋转至一特定位置。
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