[发明专利]TiO2－HA生物医用纳米结构薄膜的制备方法

摘要

一种生物材料技术领域的TiO₂－HA生物医用纳米结构薄膜的制备方法，所述的薄膜中TiO₂∶HA在1∶9－9∶1之间，Ca∶P在1.6∶1－1.7∶1之间，采用反应磁控溅射技术，通过调整溅射参量和在薄膜中添加TiO₂陶瓷成分，控制薄膜成分和颗粒尺度，步骤如下：清洗、烘干、固定待处理的医用植入物基材；固定溅射靶材；烘烤真空室，溅射清洗靶材表面；待溅射清洗稳定后，通入氧气，移开挡板，转动衬底，轮流反应射频溅射Ti/HA靶和反应直流溅射Ti靶，沉积TiO₂－HA复合薄膜；溅射沉积结束后，将样品从真空室取出。本发明简单经济，制得TiO₂－HA生物医用复合薄膜与植入物表面结合牢固，对原医用植入物的机械性能无任何破坏，提高了原普通医用植入物的生物相容性，有很大的应用潜力。

主权项

1.一种TiO2-HA生物医用纳米结构薄膜的制备方法，其特征在于，所述的薄膜中TiO2∶HA在1∶9-9∶1之间，Ca∶P在1.6∶1-1.7∶1之间，采用反应磁控溅射技术，并通过在薄膜中引入TiO2陶瓷成分，提高薄膜和钛及其合金材料的结合强度；通过调整溅射参量和在薄膜中添加TiO2陶瓷成分，控制薄膜成分和颗粒尺度，提高薄膜在典型生理环境下的生物活性和稳定性，具体步骤如下：(1)清洗、烘干、固定待处理的医用植入物基材；(2)固定溅射靶材；(3)烘烤真空室，溅射清洗靶材表面；(4)待溅射清洗稳定后，通入氧气，调节氩气流量、氧气流量、氩气与氧气的流量比、总气压以及Ti/HA靶溅射功率、Ti靶功率、衬底温度，移开档板，转动衬底，轮流反应射频溅射Ti/HA靶和反应直流溅射Ti靶，共反应溅射在待处理的医用植入物基材上沉积TiO2-HA复合薄膜；(5)溅射沉积结束后，将样品从真空室取出。