[发明专利]一种基片湿处理过程中化学液加热方法及装置

摘要

本发明是使用无机超薄电热膜制成的一种新型加热装置，尤其适用于半导体硅片湿法清洗过程中化学流体的加热。本新型加热装置采用如下技术方案：包括构成加热容器的由无机耐高温材料制备(比如石英玻璃、陶瓷等)的管体、设置在管体上的高温电热膜以及设置在高温电热膜上的导电电极。这种新型加热装置的热传导采用高频振荡的方式，通过电热膜分子热运动传热，传热速度快，加热温度高，在获得近千摄氏度高温的时候仍可保证极好的热稳定性。此装置使加热效率获得大幅提高(效率＞95％)，同时保证了产品的稳定性，使用中节约大量能耗。同时本发明并不局限于工厂集成电路产业，也可用于前述其他生产、生活等方方面面的流体加热。

主权项

1，用超薄无机管加热膜进行加热的方法，包括如下步骤：在管体加热容器表面涂上并烧结成一层纳米结构的超薄高温电热膜；在高温电热膜上引出导电电极；流体导入加热装置，通电进行控温加热。