[发明专利]高真空蒸发双面金属化镀膜机

摘要

本发明为一种高真空蒸发双面金属化镀膜机，包括由卷绕室、镀膜室和网络板组成的真空室，由扩散泵、罗茨泵、滑阀泵及阀门组成第一抽真空系统和冷阱式的第二抽真空系统以及蒸发源，所述的第二抽真空系统采用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵、罗茨泵、二个增压泵和阀门依次串联连接，二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真空系统。其特征在于：所述的传膜机构由二并列的主轴和导向轴、展平轴、放卷轴和收卷轴组成，都安装在传膜架机箱上，主轴中下方放置蒸发源，膜从放卷轴到收卷轴的传动，能使膜的双面镀上金属膜。本发明的有益效果是：克服了现有技术只能单面镀膜的不足，实现了双面镀膜，极大地提高了国内电子器材、包装材料的等级和水平，同时提高了工作效果，本发明的应用具有明显的社会效益和经济效益。

主权项

1.一种高真空蒸发双面金属化镀膜机，包括卷绕室(16)、镀膜室(19)和网络板(20)组成的真空室(6)，扩散泵(7)、阀门(10)、罗茨泵(11)、(9)、滑阀泵(8)组成第一抽真空系统和冷阱式的第二抽真空系统以及传膜机构(5)和蒸发源(17)，所述的第二抽真空系统采用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵(15)、罗茨泵(14)、二个增压泵(12)和(13)、阀门(10-1)依次串联连接，二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真空系统，第二抽真空系统接通真空室，其特征在于：所述的传膜机构由二并列的主轴(5-1)和导向轴(5-5)、展平轴(5-2)、放卷轴(5-3)和收卷轴(5-4)组成，都安装在传膜架机箱(4)上，主轴中下方放置蒸发源(17)，膜从放卷轴到收卷轴的传动，能使膜的双面镀上金属膜。