[发明专利]探测器表面响应特性测试仪及其测试方法无效
| 申请号： | 200510025497.3 | 申请日： | 2005-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1687714A | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | 简献忠;李湘宁;王朝立;赵虎;张会林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00;G01R31/00;H01L31/00;H01L31/09 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种探测器表面响应特性测试仪及其测试方法，该测试仪包括光学聚焦系统、XY两轴位置控制平台、信号放大与采集系统、控制与显示系统。由计算机分别连接并控制I/O端口和A/D转换器，I/O端口分别连接并控制X、Y轴步进电机驱动电路和半导体激光器，X、Y轴步进电机驱动电路分别连接并控制X、Y轴步进电机，从而控制二维位移平台，半导体激光器的光束经过设有直径0.1mm小孔的聚焦镜筒形成＜0.1mm直径的光斑，光斑照射于设在XY二维位移平台上的探测器表面使其产生响应的电信号，探测器表面经放大器连接A/D转换器，电信号经放大器放大后，由A/D转换器转换为数据信号送计算机处理。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器 表面 响应 特性 测试仪 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探测器表面响应特性测试仪，其特征是，包括：一光学聚焦系统，设有半导体激光器和内有直径0.1mm小孔的聚焦镜筒；一XY两轴位置控制平台，设有X轴步进电机和Y轴步进电机；一信号放大与采集系统，设有放大器、I/O端口和A/D转换器；一控制与显示系统，设有计算机、用于半导体激光器的调制脉冲控制、控制二维位移平台的X轴步进电机驱动电路和Y轴步进电机驱动电路；由所述计算机分别连接并控制所述I/O端口和所述A/D转换器，所述I/O端口分别连接并控制所述X轴步进电机驱动电路、所述Y轴步进电机驱动电路和所述半导体激光器，所述X轴步进电机驱动电路和所述Y轴步进电机驱动电路分别连接并控制所述X轴步进电机和所述Y轴步进电机，从而控制XY二维位移平台，所述半导体激光器的光束经过设有直径0.1mm小孔的所述聚焦镜筒形成＜0.1mm直径的光斑，所述光斑照射于设在XY二维位移平台上的探测器表面使其产生响应的电信号，所述探测器表面经所述放大器连接所述A/D转换器，所述电信号经放大器放大后，由所述A/D转换器转换为数据信号送所述计算机处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海理工大学，未经上海理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510025497.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
