[发明专利]抛光浆料及其用途和使用方法无效
| 申请号： | 200510025298.2 | 申请日： | 2005-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1854234A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 俞昌;杨春晓;肖正龙 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市龙东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光浆料，该抛光浆料包括至少一种研磨颗粒、一种氧化剂和一种载体；该氧化剂是结合在金属有机大分子上的；本发明还公开了该抛光浆料的用途和使用方法。本发明的抛光浆料抛光衬底时可以保持高的研磨速率，抛光后的衬底表面无腐蚀、缺陷率低、平整度高。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 浆料 及其 用途 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种抛光浆料，其包括至少一种研磨颗粒、一种氧化剂和一种载体；其特征在于该氧化剂是结合在金属有机大分子上的。
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