[发明专利]微小转角干涉测量装置无效
| 申请号： | 200510025282.1 | 申请日： | 2005-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1673672A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 郑德锋;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01D5/26 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微小转角干涉测量装置，其结构是：一调制光源由调制驱动电源驱动，在该调制光源发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件，在该分光元件的第一出射光束前进方向上经第一反光镜，进入第一测量臂组件，在所述的分光元件的第二出射光束前进方向放置第二测量臂组件，在所述的分光元件的第三出射光束前进方向上置有光电转换元件，该光电转换元件之后依次串连信号放大器、模数转换器与计算机。本发明的角位移测量分辨率由在先技术中的10－4度(1.75＊10－6rad)提高到10－8rad数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 转角 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种微小转角干涉测量装置，特征在于其结构是：一调制光源(2)由调制驱动电源(1)驱动，在该调制光源(2)发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统(3)、光束缩束系统(4)和分光元件(5)，在该分光元件(5)的第一出射光束a的前进方向上放置有第一反光镜(6)，在该第一反光镜(6)的出射光束d的前进方向上放置有第一测量臂组件(71)，在第一测量臂组件(71)的出射光束的前进方向上放置有第二反光镜(81)，在所述的分光元件(5)的第二出射光束b的前进方向上放置有第二测量臂组件(72)，在第二测量臂组件(72)的出射光束的前进方向上放置有第三反光镜(82)，在所述的分光元件(5)的第三出射光束c的前进方向上放置有光电转换元件(9)，该光电转换元件(9)的输出端与信号放大器(10)的输入端相连，该信号放大器(10)的输出端与模数转换器(11)相连，该模数转换器(11)与计算机(12)相连。
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