[发明专利]一种新型快速椭圆偏振光测量系统

摘要

本发明是一种新型快速椭圆偏振光测量系统。在传统光度式椭圆偏振光测量仪结构中，需采用机械转动方式控制起偏器或检偏器来进行光偏振态的方位角扫描。由于机械转动的速度有限，大大限制了椭圆偏振光测量的检测速度。本发明采用组合检偏器和二维CCD阵列探测器结构配置的椭圆偏振测试系统来快速获取材料的光学参数。由于采用组合偏振器代替传统的旋转偏振器来获得傅立叶分析所要求的采样点数目，并采用二维CCD阵列探测器来并行探测各偏振态的光信号。在测试过程中，系统无须转动任何机械部件，因此可以使各类材料光学参数的测量速度大幅度提高。

主权项

1、一种椭圆偏振光测量系统，其特征在于由光源、起偏器、样品架、组合检偏器、二维CCD探测器和计算机控制与分析系统依次经光路连接组成；其中，光源与样品架之间的起偏器的方位角固定，样品架内有空腔，并与真空泵连接，使样品经负压吸附在样品架上；样品架与二维CCD探测器之间的组合检偏器由m个微型子检偏器组成，这m个微型子检偏器的方位角在0-π之间大致均匀分布；计算机控制和分析系统由一台计算机和相关控制和分析计算软件组成，测量前用于光路调节以及入射角的选择，测量时对CCD探测器的电信号进行数据采集，对待测材料的各种光学参数进行计算，并输出计算结果。