[发明专利]新型废液处理装置有效
申请号: | 200510023652.8 | 申请日: | 2005-01-26 |
公开(公告)号: | CN1810657A | 公开(公告)日: | 2006-08-02 |
发明(设计)人: | 李景伦 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C02F1/00 | 分类号: | C02F1/00;B01D53/34 |
代理公司: | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 201203上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种新型废液处理装置,包括:本体,其具有第一入口、第一出口、第二出口;进水管,其通入本体内;喷淋装置,其设于本体内;还包括:过滤装置,其设于本体内的第一入口和第二出口之间;所述喷淋装置包括上板、下板、气体通道、喷淋件;上下板在本体内间隔形成一个空间结构,进水管连通于该空间结构;气体通道贯穿设置于上板和下板间,喷淋件设于下板上并与该空间结构相连通。本发明废液中的废气的处理效率得到提高;同时使维修方便,节省了维修成本。 | ||
搜索关键词: | 新型 废液 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种新型废液处理装置,包括:本体,其具有第一入口、第一出口、第二出口;进水管,其通入本体内;喷淋装置,其设于本体内;其特征在于,还包括:过滤装置,其设于本体内的第一入口和第二出口之间;所述喷淋装置包括上板、下板、气体通道、喷淋件;上下板在本体内间隔形成一个空间结构,进水管连通于该空间结构;气体通道贯穿设置于上板和下板间,喷淋件设于下板上并与该空间结构相连通。
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