[发明专利]高复现性通用光学波片检测仪无效
申请号: | 200510023208.6 | 申请日: | 2005-01-10 |
公开(公告)号: | CN1632501A | 公开(公告)日: | 2005-06-29 |
发明(设计)人: | 周飞;徐文东;干福熹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01B11/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种高复现性通用光学波片检测仪,其特征在于包括沿着光束前进方向上依次置有白光光源,分光器,嵌入式测量台和光电探测器。系统还包括A/D转换器,计算机和控制器。白光光源的出射光入射到分光器得到单色光束,然后该光束入射到嵌入式测量台,最后被光电探测器接收,经过A/D转换器输入到计算机。经计算机处理后得到波片参数。嵌入式样品台用于对经过分光器后的单色入射光起偏,放置待测样品,和对出射光检偏的作用。本发明具有测量精度高,可重复性好,通用性强(可测量任何波片),操作简便的特点。 | ||
搜索关键词: | 复现 通用 光学 检测 | ||
【主权项】:
1、一种高复现性通用光学波片检测仪,其特征在于构成为:沿着光束前进方向上依次置有白光光源(1)、分光器(2)、嵌入式测量台(3)和光电探测器(4),系统还包括A/D转换器(5)、计算机(6)和控制器(7),该白光光源(1)的出射光入射到分光器(2)得到单色光束,然后该单色光束入射到嵌入式测量台(3),最后被光电探测器(4)接收,经过A/D转换器(5)输入到计算机(6),经计算机(6)处理后得到波片参数,嵌入式测量台(3)对经过分光器(2)后的单色入射光起偏,放置待测样品和对出射光检偏的作用。
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