[发明专利]一种用于扫描力显微镜观察薄膜样品断面的样品台

摘要

一种用于扫描力显微镜观察薄膜样品断面的样品台，属于电子仪器技术领域。包括金属底座(1)和金属片(3)；金属底座至少有三个光滑的平面，其中：平面(A、B)为水平平面，相互之间形成一个台阶；平面(C)与平面(A、B)和平面(A、B)之间的台阶相互垂直，其下方具有一个水平凹槽；金属片(3)为L型，两面光滑，其厚度与前述台阶高度相等。它还可以包括一个能够将金属片(3)更好地固定在金属底座(1)上的固定装置(6)。本发明能够竖直放置薄膜样品，并利用金属底座上平面和金属片形成的带有窄缝的导电平面来改善针尖与样品之间的电场分布从而增大检测时样品断面与针尖之间的静电力，使介质薄膜断面的电势信号可以被检测到。

主权项

1、一种用于扫描力显微镜观察薄膜样品断面的样品台，其特征是它包括金属底座(1)和金属片(3)；所述金属底座(1)的大小不超过扫描力显微镜自带的样品台，其高度不超过扫描力显微镜扫描管z方向的正常工作范围，且至少有三个光滑的平面(A、B和C)，其中：平面(A)和平面(B)为水平平面，且相互之间形成一个台阶；平面(C)与平面(A)、平面(B)以及平面(A)与平面(B)之间的台阶相互垂直，平面(C)的下方具有一个水平凹槽；所述金属片(3)大致为L型，两面光滑，其厚度与金属块(1)的平面(A)和平面(B)的台阶高度相等。