[发明专利]一种激光干涉测速仪

摘要

本发明公开了一种激光干涉测速仪，含有激光输入系统、干涉仪主体、四探头记录系统、4f透镜延迟系统、光强监测系统和干涉条纹监测系统。干涉仪主体中的三个分束镜设置为等腰三角形的三个顶点，三个分束镜的连接线构成的等腰三角形的三条边为激光束在干涉仪主体内运行路径的中心线，围绕等腰三角形的三条光路的延长线上相继设置其它组成部分。透镜延迟系统设置在三角形一腰的延长线上，移动一块转折反射镜就可改变激光干涉测速仪的灵敏度。同时方便的实现四探头记录，提高信噪比。仪器内的平面元件使得造价大幅度降低，4f透镜延迟系统中的透镜可按光束实际需要的直径进行研制。本发明结构紧凑、调试简单，具有较完善的实时监测系统，系统稳定，容易使用，研制难度和成本也大大降低。

主权项

1.一种激光干涉测速仪，包括激光输入系统、干涉仪主体、四探头记录系统、4f透镜延迟系统、光强监测系统和干涉条纹监视系统；其特征在于：激光输入系统包括光纤(1)、准直镜(2)、偏振镜(3)、滤光片(4)，激光输入系统将来自被测样品的激光转换成线偏振的准直光束送入干涉仪主体；干涉仪主体包括主分束镜(5)、合束镜(6)、分束镜(7)，将进入的光束分为两束光，一束光为穿透主分束镜(5)、射向分束镜(7)、再由分束镜(7)送到合束镜(6)的参考光束；另一束光被主分束镜(5)反射，进入4f透镜延迟系统；4f透镜延迟系统包括转折反射镜(9-1)、复合透镜(10-1、10-2)和后向反射镜(11-1)，设置在干涉仪主体外光路上；用于被测样品不动时监测进入仪器的静态光强和样品运动时的动态光强变化的光强监测系统包括光强分束镜(14)、光电池(15)、光电探头(16)和数字面板，位于由主分束镜(5)输出的光穿透分束镜(7)向外延伸的光路上；四探头记录系统分别设置在延迟光束透过合束镜(6)延续的相干光路上及参考光束透过合束镜(6)延续的相干光路上；用于监视干涉条纹的调节质量的干涉条纹监视系统包括条纹监测分束镜(17)和CCD相机(18)，位于合束镜(6)后的相干光路上。