[发明专利]离轴抛物面聚焦镜的安装调试方法

摘要

本发明公开了一种高功率超短脉冲激光聚焦使用的离轴抛物面聚焦镜的安装调试方法，该方法通过重力法确定离轴抛物面聚焦镜的对称轴，采用粗调及成像与面阵CCD精调的调试方法来调整离轴抛物面聚焦镜的状态。该方法简单有效，能使宽频带超短脉冲激光的焦斑聚到很好的状态。

主权项

1.一种离轴抛物面聚焦镜的安装调试方法，依次按以下步骤进行：1)将离轴抛物面聚焦镜(1)竖直放置于一个水平放置的平面镜(2)上，离轴抛物面聚焦镜(1)的厚边紧贴平面镜(2)；2)待离轴抛物面聚焦镜(1)达到平衡后，在离轴抛物面聚焦镜(1)和平面镜(2)面的接触部位作一标记点(3)；3)将做有标记点(3)的离轴抛物面聚焦镜(1)置于镜架(4)内，使标记点(3)与设有水平方向和竖直方向两个互相垂直的调整轴的镜架(4)中的一个调整轴重合；4)将步骤3)中装好离轴抛物面聚焦镜(1)的镜架(4)放入光路中，使入射光投射到离轴抛物面聚焦镜(1)的中心；5)在光束焦点前后一定距离的地方放置一观察屏(8)；6)粗调，将步骤3)中所述的与标记点(3)重合的镜架(4)的调节轴设为X轴，调节镜架(4)使离轴抛物面聚焦镜(1)绕X轴旋转，使观察屏(8)上的光斑形状以X方向为对称轴对称；7)将与X轴垂直的轴设为Y轴，调节镜架(4)使离轴抛物面聚焦镜(1)绕Y轴旋转，使观察屏(8)上的光斑形状变小、变圆，粗调完成；8)进一步调试，将成像物镜(7)置于光路中，焦点位于成像物镜的一倍焦距至二倍焦距之间，移动观察屏(8)，使放大后的焦点像成于观察屏(8)上；9)采用与步骤6)、7)相同的方法，使观察屏(8)上的焦点像变小、变圆；10)精调，移开观察屏(8)，将面阵CCD(9)置于焦点对成像物镜(7)所成的像点处，衰减入射激光的强度至纳焦量级，使焦点像清楚地成像在面阵CCD(9)上，通过观察面阵CCD(9)采到的图像，采用与步骤6)、7)相同的方法精调离轴抛物面聚焦镜(1)，使焦点像变得最小、最圆。