[发明专利]光栅平动式光调制器及阵列

摘要

本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列，光调制器包括：一有绝缘层和负电极硅基底，一镀于负电极之上的底层反射面，一位于底层反射面之上，四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面，该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽，形成光栅，一将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置。该器件是利用深度可变的矩形槽光栅对入射光的相位进行调制，具有出光效率高、调制速度快、对比度高、亮度高、均匀性好等优点，同时制造工艺简单，良品率高，有效利用面积大。

主权项

1.一种光栅平动式光调制器，其特征在于它包括：a.一硅基底，其上淀积刻蚀有绝缘层和负电极；b.一镀于负电极之上的底层反射面；c.一位于底层反射面之上，四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面，顶层反射面是在弹性基底上镀上金属反射物形成的，该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽，形成光栅，两反射面之间留有合适的间距，顶层反射面为正电极；d.使顶层反射面悬浮于底层反射面上方的悬臂梁，该悬臂梁下部支撑在硅基底上，位于在顶层反射面的四边外侧，以四角旋转对称支撑的形式与顶层反射面四边相连接，将顶层反射面支撑在底层反射面之上；e.将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置，可产生不同电平、不同频率的驱动电压。