[发明专利]纳米级定位精度一维位移工作台无效
| 申请号： | 200510018618.1 | 申请日： | 2005-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1716456A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 戴蓉;谢铁帮;常淑萍 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;B23Q1/25 |
| 代理公司： | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘志菊 |
| 地址： | 430070湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米级定位精度一维位移工作台，包括工作台部分、位置检测部分、信号处理与控制电路部分、驱动部分；工作台包括粗调、精调两级定位工作台，粗定位工作台置于垂直方向的滚动导轨中间，粗定位工作台的下方是粗位移调整机构；精调定位工作台的底座置于粗定位工作台的内腔中，通过折叠式柔性铰支机构与粗定位工作台的内腔连接，精调定位工作台的底座下方与粗定位工作台之间有压电微位移器作为精位移调整机构；粗、精位移调整机构的驱动部分与信号处理与控制电路连接。采用固定于工作台上的衍射光栅作为工作台位移的测量传感器，形成与位移有关的检测信号。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 定位 精度 位移 工作台 | ||
【主权项】：
1.一种纳米级定位精度一维位移工作台，包括工作台部分、位置检测部分、信号处理与控制电路部分、驱动部分，其特征在于：工作台包括粗调、精调两级定位工作台，粗定位工作台置于垂直方向的滚动导轨中间，粗定位工作台的下方是粗位移调整机构；精调定位工作台的底座置于粗定位工作台的内腔中，通过折叠式柔性铰支机构与粗定位工作台的内腔连接，精调定位工作台的底座下方与粗定位工作台之间有压电微位移器作为精位移调整机构；粗、精位移调整机构的驱动部分与信号处理与控制电路连接。
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