[发明专利]一种带凸凹反射镜的垂直外腔面发射半导体激光器无效

专利信息
申请号: 200510016967.X 申请日: 2005-07-14
公开(公告)号: CN1719673A 公开(公告)日: 2006-01-11
发明(设计)人: 晏长岭;秦丽;何春凤;单肖楠;路国光 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01S5/00 分类号: H01S5/00
代理公司: 长春科宇专利代理有限责任公司 代理人: 梁爱荣
地址: 130031吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及垂直外腔面发射半导体激光器的结构设计,包括:泵浦光源1、凸凹反射镜2、反射介质膜3、增透膜4、窗口层5、光吸收层6、有源增益区7、布拉格反射镜8、焊料9、散热片10、热沉11、导热胶12、微通道散热片13、非线性晶体14。通过外凸凹反射镜的凸面会聚作用减小光散射,增大光反馈,进而降低器件的激射阈值,达到提高器件输出效率和输出功率的目的。与此同时采用微通道散热技术解决器件散热问题来提高输出功率。本发明采用凸凹反射镜为外腔镜,使输出光近似为平行光,发光区为均匀的圆形,从而获得圆对称光束质量,利于光束耦合。本发明可以应用于III-V族半导体材料体系,还可以应用于II-VI族半导体材料体系。
搜索关键词: 一种 凸凹 反射 垂直 外腔面 发射 半导体激光器
【主权项】:
1、一种带凸凹反射镜的垂直外腔面发射半导体激光器,包括:泵浦光源(1)、窗口层(5)、光吸收层(6)、有源增益区(7)、布拉格反射镜(8)、焊料(9)、散热片(10)、热沉(11)、导热胶(12),有源增益区(7)的两面分别与光吸收层(6)和布拉格反射镜(8)固定连接,焊料(9)将布拉格反射镜(8)和散热片(10)固定连接,焊料(9)将散热片(10)和热沉(11)固定连接,其特征在于还包括:凸凹反射镜(2)、反射介质膜(3)、增透膜(4)、微通道散热片(13),凸凹反射镜(2)的凹面与反射介质膜(3)固定连接,窗口层(5)的两面分别与增透膜(4)和光吸收层(6)固定连接,导热胶(12)分别与热沉(11)和微通道散热片(13)固定连接。
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