[发明专利]微尖端线列器件有效
| 申请号： | 200510011987.8 | 申请日： | 2005-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1885438A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G12B21/00 | 分类号： | G12B21/00;G12B21/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 微尖端线列器件，由单晶硅材料的夹持端、附着有鉻和金的氮化硅悬臂梁、镍金属的微尖端构成。本发明的微尖端线列器件，各微尖端可以通过外电路并行控制或分别控制；使用<100>晶向的单晶硅作为衬底制造，成本低廉；通过标准微电子机械(MEMS)工艺加工，成品率高；可以并行完成扫描隧道显微镜所能胜任的所有任务，如：材料表面并行探知、材料表面并行微米/纳米级加工、高密度存储等。 | ||
| 搜索关键词： | 尖端 器件 | ||
【主权项】：
1.一种微尖端线列器件，是基于扫描隧道显微镜原理的微尖端线列器件，由夹持端、悬臂梁、微尖端三个部分组成，其中，在夹持端上表面固接有焊盘，在焊盘的一侧固接有悬臂梁，悬臂梁伸出于夹持端侧外，悬臂梁的自由端固设有微尖端，微尖端的针尖向下；其特征在于，所述焊盘，至少为两个，两个焊盘整齐顺序排列，在每个焊盘的同侧固接有悬臂梁，悬臂梁伸出于夹持端侧外，彼此平行，每个悬臂梁的自由端固设有微尖端，微尖端的针尖向下；所述夹持端为单晶硅材料；悬臂梁由附着有鉻和金的低应力氮化硅薄膜构成；微尖端为镍金属材料构成。
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