[发明专利]稀释剂组分及用其除去光刻胶的方法有效
| 申请号： | 200510009433.4 | 申请日： | 2005-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1655065A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 安承铉;裵恩美;崔百洵;全相文;金大中;尹广燮;朴相圭;金载昊;李时镛;金京美;尹汝荣 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林宇清;谢丽娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种稀释剂组分包括丙二醇醚乙酸酯、甲基2－羟基－2－丙酸甲酯和酯化合物如乳酸乙酯、乙基3－乙氧基丙酸酯或其混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 稀释剂 组分 除去 光刻 方法 | ||
【主权项】：
1、一种稀释剂组分，包括：丙二醇醚乙酸酯；选自由乳酸乙酯、乙基3-乙氧基丙酸酯及其混合物构成的组的至少一种酯化合物；以及甲基2-羟基-2-丙酸甲酯。
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