[发明专利]利用射频识别标签追踪盘片生产的系统及其方法

摘要

本发明涉及一种利用射频识别标签追踪盘片生产的系统及其方法，其中该系统包括一具有射频识别标签的盘片承载座与多个读取装置配合，用来控管盘片生产时依序经过一涂布工作站、一溅射工作站、一胶合工作站及一检测工作站的生产流程，而其中该方法提供该具有射频识别标签的盘片承载座及所述读取装置，该射频识别标签储存盘片生产的相关信息，该具有射频识别标签的盘片承载座配合所述读取装置，在所述盘片经过涂布染料、溅射金属靶、胶合、检测、印刷与包装等步骤时，分别传递所述盘片所需要进行的步骤数据至所述读取装置上，以追踪盘片的生产信息。

主权项

1、一种利用射频识别标签追踪盘片生产的系统，包括：一盘片承载座，其具有射频识别标签，该盘片承载座上承载多个白片，而该射频识别标签储存各批盘片的生产信息；一涂布工作站，该涂布工作站用来涂布染料于该具有射频识别标签的盘片承载座上的白片；一溅射工作站，其位于该涂布工作站的下游，该溅射工作站用来溅射金属靶于该已涂布染料的白片上；一检测工作站，其位于该溅射工作站的下游，该检测工作站用来检测盘片，以作等级的判定；及多个读取装置，其分别配置于各工作站，每一个读取装置与该盘片承载座上的射频识别标签配合传输各批盘片的信息，其用来比对各工作站的生产数据及控管盘片生产流程。