[发明专利]定位台装置有效
| 申请号: | 200510004783.1 | 申请日: | 2005-01-26 |
| 公开(公告)号: | CN1649121A | 公开(公告)日: | 2005-08-03 |
| 发明(设计)人: | 大石伸司 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;B23Q3/15 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 岳耀锋 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 提供一种定位台装置,可使安装在可动台本体上的电池小型化或被去除,且不使用电缆非接触地在可动台本体的任意位置或任意定时供给电力。在包括用于提供交流磁场、非接触地得到电力的电接收线圈的定位台装置中,把多个供给电力的送电线圈填埋配置在底座结构体中,且设置有根据台的位置依次切换送电线圈的单元。与送电线圈错开相位在台上配置多个电接收线圈,把交流磁场的频率设定为由送电线圈与电接收线圈之间的互感、和负载确定的谐振频率。 | ||
| 搜索关键词: | 定位 装置 | ||
【主权项】:
1.一种定位台装置,包括:底座结构体;以及可以沿着上述底座结构体的表面与上述底座结构体非接触地移动的可动台,其特征在于包括:填埋在上述底座结构体的上述表面下的多个送电线圈;与上述表面相对置且安装在上述可动台上的电接收线圈;根据上述可动台的位置,依次切换上述多个送电线圈中的为了送电而应该通电的送电线圈的切换单元;以及通过上述切换单元,向应该通电的上述送电线圈供给交流电力的电供给单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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