[发明专利]单张薄膜的缺陷检查装置无效
| 申请号： | 200510004337.0 | 申请日： | 2005-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1641342A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 桑原一 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;胡强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供易于高精度地在整个薄膜面上光学地检查有翘曲等变形的单张薄膜的缺陷的装置。本发明的装置是一边输送单张薄膜一边检查缺陷的装置，在输送单张薄膜的方向上依次配置由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊、上下配置的一对送出辊及上下配置的一对接受辊，从而使单张薄膜水平地输送，在送出辊与接受辊之间上下地配置光源及摄像机，用于在单张薄膜上照射光，并接受其透过光而检查缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 单张 薄膜 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
1、一种单张薄膜的缺陷检查装置，是一边输送单张薄膜一边检查缺陷的装置，其特征在于：在输送单张薄膜的方向上依次配置由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊、上下配置的一对送出辊及上下配置的一对接受辊，从而使单张薄膜水平地输送，并在送出辊与接受辊之间上下地配置光源及摄像机，用于在单张薄膜上照射光，并接受其透过光而检查缺陷。
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