[发明专利]温度受控的MEMS共振器以及控制共振器频率的方法有效
| 申请号： | 200480042290.0 | 申请日： | 2004-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1951009A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 卢茨·马库斯;阿龙·帕特里奇 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 这里描述和示出了很多发明。在一个方面，本发明涉及温度补偿的微机电共振器以及制造、生产、提供和/或控制具有一种机械结构的微机电共振器，所述机械结构包括集成的加热和/或温度传感元件。在另一个方面，本发明涉及制造、生产、提供和/或控制具有一种机械结构的微机电共振器，所述机械结构利用薄膜或晶片级封装技术封装在腔室内并且包括布置在腔室内、腔室上和/或集成在机械结构内的加热和/或温度传感元件。从这里的详细描述和权利要求中本发明的其它方面将会很明显。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 受控 mems 共振器 以及 控制 频率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS共振器，其共振频率被相关于工作温度限定，所述MEMS共振器包括：包括第一电触点的第一基片锚定部；包括第二电触点的第二基片锚定部；布置在第一和第二基片锚定部之间并且电结合至第一和第二电触点的梁结构；和电源，其结合至第一和第二电触点以便为梁结构提供电流并且从而加热梁结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480042290.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
