[发明专利]激光加工用保护片以及激光加工品的制造方法无效
申请号: | 200480038742.8 | 申请日: | 2004-11-02 |
公开(公告)号: | CN1898056A | 公开(公告)日: | 2007-01-17 |
发明(设计)人: | 浦入正胜;日野敦司;松尾直之;高桥智一;松村健;山本昌司 | 申请(专利权)人: | 日本电工株式会社 |
主分类号: | B23K26/18 | 分类号: | B23K26/18;H01L21/301;C09J7/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种激光加工用保护片(2),当利用激光(7)的紫外吸收烧蚀对工件(1)进行时,能够有效地抑制分解物所引起的工件表面的污染。另外,提供一种使用激光加工用保护片(2)的激光加工品(10)的制造方法。在利用激光(7)的紫外吸收烧蚀对工件(1)进行加工时,激光加工用保护片(2)被设置在工件(1)的激光入射面一侧。 | ||
搜索关键词: | 激光 工用 保护 以及 加工品 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工用保护片,在利用激光的紫外吸收烧蚀对工件进行加工时,被设置在工件的激光入射面一侧。
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