[发明专利]用于自对准微机电系统中的部件的方法和系统无效
| 申请号： | 200480037174.X | 申请日： | 2004-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1894155A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | T·阿尔布雷克特;M·卡斯特里奥塔;M·德蓬;M·兰茨;S·奥焦尼 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;刘瑞东 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种方法和系统，用于在制造期间有效地自动对准MEMS的部件，和控制这些部件之间的距离。根据本发明，每个MEMS部件包括至少一个衬垫，所述衬垫对准以形成衬垫对。在优选实施例中，每个部件包括三个衬垫。两对衬垫的衬垫形状是矩形，一对相对于另一对旋转约等于90°的角，并且第三对的衬垫形状是环形。因此，衬垫对的一个允许根据第一方向对准，第二衬垫对允许根据第二方向对准，并且第三衬垫对允许旋转对准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 微机 系统 中的 部件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于精确对准电子装置的至少两个部件的方法，所述电子装置的每个部件包括至少一个衬垫，所述至少两个部件的第一部件的所述至少一个衬垫与所述至少两个部件的第二部件的所述至少一个衬垫在所述第一和第二部件对准时对准，形成至少一对衬垫，所述方法包括以下步骤：在所述至少两个部件的第一部件的所述至少一个衬垫上沉积粘合剂；将所述第二部件与所述第一部件基本对准；以及在所述第一部件上放置所述第二部件。
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