[发明专利]用于动态数字光刻的实时图像尺寸调整无效
| 申请号： | 200480034161.7 | 申请日： | 2004-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1882874A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 戴尔·W·施罗埃德尔 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/42 | 分类号： | G03B27/42;G03B27/54;G03B27/62;G09G5/00;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种动态光刻系统(100)实时地对图样(410)进行尺寸调整并通过光刻将尺寸调整的图样(510)的图像转移到表面(150)上以补偿表面(150) 和/或光学器件(114)中的变形。系统(100)使用图样(410)的两个或更多预先存储的空间偏移的投影图(400a...400N)。每个空间偏移的投影图(400a...400N)包括的象素数据识别空间光调制器(110)中表示图样(410)的光调制元件(210)。图样(410)在投影图(400a...400N)之间具有空间偏移。根据变形选择两个或多个空间偏移的投影图(400a...400N)的不同部分来对图样(410)进行尺寸调整并通过光刻将尺寸调整的图样(510)的图像转移到表面(150)上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 动态 数字 光刻 实时 图像 尺寸 调整 | ||
【主权项】：
1.一种方法，用于实时地对图样(410)进行尺寸调整以动态地通过光刻将尺寸调整的图样(510)的图像转移到表面(150)上，所述方法的特征在于：产生(1220)所述图样(410)的第一投影图(400a)，所述第一投影图(400a)包括表示所述图样(410)的第一象素数据；产生(1230)所述图样(410)的第二投影图(400b)，所述第二投影图(400b)包括表示所述图样(410)的第二象素数据，所述第二投影图(400b)中的图样(410)与所述第一投影图(400a)中的图样(410)有空间上的偏移；以及选择(1240)部分所述第一象素数据和所述第二象素数据，以形成所述尺寸调整的图样(510)并动态地通过光刻将所述尺寸调整的图样(510)的图像转移到所述表面(150)上。
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